1 日本電子株式会社 SM事業ユニットSMアプリケーション部JEOL.ltd ◇ 3–1–2 Musashino, Akishima, Tokyo, 196–8558, Japan
2 山形大学 理学部 物質生命化学科Yamagata University ◇ 1–4–12 Kojirakawa-machi, Yamagata, 990–8560, Japan
低加速電圧SEMの発展は目覚ましく，加速電圧1 kVであっても1 nmを切る空間分解能を実現できるようになった。一方，近年のゼオライトに代表されるナノ多孔質材料は複雑化および微細化が進んでおり，その構造を正確に解析するために高い空間分解能が必要とされている。しかしながら，SEMによる高空間分解能観察だけでなく，分析技術もゼオライトの解析には重要であると言える。
本研究ではナノ多孔質材料に対してSEMを用いた低加速電圧法，低真空法による解析および軟X線化学状態分析を行ったので，その原理および応用例を紹介する。
The development of low voltage (LV) FE-SEMs has been remarkable, and spatial resolution of less than 1.0 nm can be achieved already even at 1 kV. On the other hand, recent advanced nano porous materials such as zeolite are getting more complex and micronized. Therefore, to understand the nano structures precisely, high spatial resolution is necessary for imaging them clearly. However, the chemical analysis as well as the high spatial resolution imaging is important in FE-SEM. In this report, we focus on the high resolution imaging, low vacuum method and chemical states analysis using Soft X-ray Emission Spectrometry (SXES) in the low voltage FE-SEM.
キーワード：低加速電圧SEM；減速法；低真空法；エネルギー分散型X線分光法（EDS）；軟X線分析法（SXES）
Key words: Low voltage FE-SEM; Deceleration method; Low vacuum method; Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS); Soft X-ray Emission Spectrometry (SXES)
© 2017 一般社団法人日本ゼオライト学会© 2017 Japan Association of Zeolite
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