電子顕微鏡を用いた最近の構造解析法Advanced Microstructure Analysis Using Electron Microscopy
財団法人ファインセラミックスセンター ナノ構造研究所Nanostructures Research Laboratory, Japan Fine Ceramics Center ◇ 〒456-8587 愛知県名古屋市熱田区六野二丁目4番1号
ゼオライト関連分野の研究開発において,電子顕微鏡法は近年益々身近で有用な解析手段となっている。また,電子顕微鏡技術は年々進歩しており,それに伴って新しい重要な発見が成されている。しかし,ゼオライトやメソポーラス物質は電子線照射に敏感であることから,新しい電子顕微鏡技術の適用には工夫が必要でありこれら観察技術は活用が始まったばかりである。本稿では,新しい電子顕微鏡技術の中から,近年特に開発が進みつつある「TEMおよびSTEMを使った原子レベルでの解析」,「電子線トモグラフィー」および「ガス導入環境下でのTEM 観察」および「3次元観察」について概説する。
Advances in electron microscopy and associated technologies continue apace, contributing to important developments in materials science. However, such advanced methods have only just begun to be applied to zeolites and mesoporous materials, because these materials are particularly sensitive to electron beam damage. In this review paper, we describe the latest techniques for performing atomic resolution analysis using transmission electron microscopy, scanning transmission electron microscopy, electron tomography and environmental transmission electron microscopy from the advanced methods.
キーワード:計算科学;透過電子顕微鏡;走査透過電子顕微鏡;環境制御型透過電子顕微鏡;電子線トモグラフィー
Key words: computer science; transmission electron microscopy; scanning transmission electron microscopy; environmental transmission electron microscopy; electron tomography
© 2011 ゼオライト学会© 2011 Japan Association of Zeolite
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